ציוד מתכת ואקום

האם ציפויי PVD בטוחים?

תהליכי שקיעת אדים פיזיים הם טכניקה ידידותית לסביבה או "ציפוי" המפחיתה מאוד את כמות החומרים הרעילים שיש להשתמש בהם, לנהל ולהיפטר מהם בהשוואה לתהליכים "רטובים" אחרים הכוללים מבשרי נוזלים ותגובות כימיות המשמשות להשגת אותה תוצאה . מכיוון שהוא מסוגל לייצר ציפויים טהורים, נקיים ועמידים במיוחד, Physical Vapor Deposition היא הטכנולוגיה המועדפת לתעשיית השתלים הכירורגיים והרפואיים.

האם אתה יודע מהי מכונת ציפוי? זה מתייחס בעיקר לסוג של ציפוי שצריך להתבצע תחת דרגת ואקום גבוהה, כולל סוגים רבים, כולל אידוי יונים בוואקום, קירוי מגנטרון, אפיטקסית קרן מולקולרית MBE, שקיעת קרז בלייזר PLD ועוד רבים אחרים.

מערכת הוואקום כוללת משאבה מכנית, משאבה קריוגנית, שסתום חיספוס, שסתום חזיתי, שסתום שער ומד ואקום לזיהוי ואקום. במהלך קפיצת מגנטרון, יש למזער את ההשפעה של חנקן, חמצן ואדי מים על התהליך, ולכן נדרשת דרגת הוואקום להיות מתחת ל-0.13 mPa ~ 4 Pa. כעת משתמשים בדרך כלל במשאבה יבשה ובמשאבה קריוגנית. המשאבה היבשה משמשת לשאיבת ואקום נמוך. בהשוואה למשאבת השמן המכנית המקורית, היא יכולה למנוע מהשמן והגז במשאבת השמן להיכנס לתא הוואקום, לזהם את המצע ולהפחית את ההידבקות בין הסרט למצע. בדרך כלל, לאחר שאיבת המשאבה היבשה מתחת ל-6.5 Pa, שסתום השער נפתח, והמשאבה הקריוגנית משמשת לשאיבת ואקום גבוה. ה-Cryogenic pumpis המאופיינת במהירות שאיבה גבוהה, במיוחד היכולת להסיר אדי מים חזקה מאוד.

מערכת הציפוי המקרטעת מורכבת מאספקת חשמל DC, חומר מטרה, מי קירור, מגנט קבוע, מכשיר לחימום מצע, מגן, שכבת מיגון וכו'. זהו החלק המרכזי של תחנת הקזת המגנטרון. ספק הכוח DC מספק מתח גבוה שלילי של 300-1 000 V ומחיל אותו על המטרה, כך שהמטרה נמצאת בקתודה והמצע נמצא באנודה. מי קירור משמשים לקירור חומר המטרה כדי למנוע מטמפרטורת היעד לעלות מהר מדי עקב קיצוץ. צינור מי הקירור צריך להיות עשוי מחומרי בידוד כגון צינורות פלסטיק, לא צינורות מתכת. מכשיר חימום המצע יכול להסיר זיהומים כמו אדי מים על המצע, מה שיכול לשפר את ההידבקות בין הסרט למצע. בנוסף, עבור מתכות מסוימות, טמפרטורה מתאימה יכולה לשפר את איכות הסרט.

יישום

פָּרָמֶטֶר

החברה שלנו

תגיות פופולריות: ציוד מתכת ואקום, סין, ספקים, יצרנים, מפעל, מותאם אישית, קנייה, מחיר, הצעת מחיר