שיטת מדידה וניטור של עובי הסרט של מכונת ציפוי ואקום מודרנית

שיטת בקרת הציפוי הישירה ביותר היא שיטת המיקרואזן של קריסטל קוורץ (QCM), שיכולה להניע ישירות את מקור האידוי, ולעבור את המבוכה באמצעות בקרת PID כדי לשמור על קצב האידוי. כל עוד המכשיר מחובר לתוכנת בקרת המערכת, הוא יכול לשלוט בכל תהליך הציפוי. אבל הדיוק של (QCM) מוגבל, בין היתר משום שהוא מנטר את איכות הציפוי המופקד ולא את עוביו האופטי.

כמו כן, בעוד QCM הוא יציב מאוד בטמפרטורות נמוכות יותר, הוא הופך להיות רגיש מאוד לטמפרטורה בטמפרטורות גבוהות יותר. במהלך חימום ממושך, קשה למנוע מהחיישן ליפול לאזור רגיש זה, מה שגורם לשגיאות משמעותיות בסרט.

ניטור אופטי הוא השיטה המועדפת לניטור ציפויים ברמת דיוק גבוהה מכיוון שהוא מאפשר שליטה מדויקת יותר בעובי השכבה (אם נעשה בו שימוש נכון). השיפור ברמת הדיוק נובע מגורמים רבים, אך הסיבה הבסיסית ביותר היא ניטור העובי האופטי.

מערכת הניטור האופטי האופטית האופטימלית SWA-I-05 בעלת אורך הגל הבודד מאמצת מדידה ובקרה עקיפות, בשילוב עם תוכנת ניטור אופטי מתקדמת שפותחה על ידי ד"ר וואנג, כדי לשפר ביעילות את התיאוריה והשיטה של רגישות התגובה האופטיפטית לשינויי עובי סרט כדי להפחית את השגיאה האולטימטיבית, ומספקת משוב או העברת בחירה של מצבים ומגוון רחב של אורכי גל של ניטור. הוא מתאים במיוחד לניטור ציפוי של עוביים סרט שונים כולל ניטור סרט לא סדיר.