מכונת ציפוי מתכת

כל היתרונות של תהליך ציפוי PVD המייצרים כמה מהטכנולוגיות הקשוחות, המבריקות והחדשניות ביותר של זמננו, החל משבבים ועד פאנלים סולאריים, אף אחד לא חשוב יותר מהעובדה שניתן ליישם ציפוי PVD ללא שאריות רעילות או תוצרי לוואי אשר מבזות את סביבת הפלנטה שלנו.

מלאכת מכונת ציפוי מתכת

קונספט תהליך ציפוי ספוטר

מה שנקרא ציפוי מקרטעת מתייחס להפצצת המטרה בחלקיקים אנרגטיים (כגון יונים חיוביים) בתא ואקום, כך שהאטומים או הקבוצות האטומיות על פני המטרה בורחים, והאטומים שנמלטו יוצרים סרט על פני השטח של המטרה. חומר העבודה עם הרכב זהה למטרה. ,שיטה זו של הכנת סרטים דקים נקראת קישוט. כיום, הקזת משמשת בעיקר ליצירת סרטים דקים ממתכת או סגסוגת, במיוחד לייצור אלקטרודות של רכיבים אלקטרוניים וסרטים מחזירי אור אינפרא אדום על משטחי זכוכית. בנוסף, הקזת משמשת גם להכנת סרטים דקים פונקציונליים, כגון In2O3-SnO2 סרטים דקים קרמיים מוליכים שקופים עבור התקני תצוגה גבישים נוזליים.

קיימות שתי דרכים לציפוי מקרטעת: האחת נקראת קריסת קרן יונים, המתייחסת להפצצת משטח המטרה באמצעות קרן יונים במצב ואקום, כך שהחלקיקים המקרזים יוצרים סרט על פני המצע. תהליך זה יקר יחסית ומשמש בעיקר להכנת תרסיס מיוחד. Theother נקרא קתודית, שמשתמשת בעיקר בתופעה של פריקת גז בלחץ נמוך, כך שהיונים במצב הפלזמה מפציצים את פני המטרה, והחלקיקים המקרזים מופקדים על המצע. הוא מאמץ מבנה אלקטרודה של לוח מקביל, מטרה בעלת שטח גדול עשוי מחומר ממברנה היא קתודה, ומצע התומך בבסיס הוא אנודה, המותקנת במיכל ואקום מסוג צנצנת פעמונים. על מנת להפחית את הזיהום, הלחץ בצנצנת הפעמון נשאב תחילה לפחות מ-10-3~10-4Pa, ולאחר מכן מלא ב-Ar כדי לשמור על הלחץ ב-1~10Pa. מתח של כמה אלפי וולט מופעל בין שתי האלקטרודות לציפוי מרסס.

בהשוואה לציפוי אידוי, לחומר המטרה (חומר הסרט) אין ציפוי מקרטעת מחליף פאזה, הרכב התרכובת יציב, והסגסוגת אינה קלה לחלוקה, כך שחומר הסרט המתאים להכנה רחב מאוד. היות והאנרגיה של החלקיקים המופקדים על המצע על ידי קיצוץ גבוהה פי 50 מזו של האידוי, יש להם השפעה של ניקוי וחימום המצע, ולכן לסרט שנוצר יש הידבקות חזקה. בפרט, ציפוי מקרטעת קל לשלוט בהרכב הסרט. באמצעות קימוט ישיר או קיזוז תגובתי, ניתן להכין סרטי סגסוגת שונים, סרטים מורכבים, סרטים רב-שכבתיים וסרטים מרוכבים בעלי שטחים גדולים ואחידים. קל לממש ציפוי מתיז הפעלה רציפה, אוטומטית וייצור בקנה מידה גדול. עם זאת, עקב השימוש במתח גבוה ובגז במהלך הקפיצה, המכשיר מסובך יחסית, הסרט הדק מושפע בקלות מאווירת הקפיצה, וגם קצב השקעת הסרט הדק נמוך. בנוסף, ציפוי מקרטעת צריך להכין מראש מטרות של רכיבים שונים, מה שלא נוח להעמיס ולפרוק את המטרה, ושיעור הניצול של המטרה אינו גבוה מדי.

פָּרָמֶטֶר

יישום

החברה שלנו

תגיות פופולריות: מכונת ציפוי מתכת, סין, ספקים, יצרנים, מפעל, מותאם אישית, קנייה, מחיר, הצעת מחיר